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JQ261 半自动双轴十二寸划片机

JQ261 双轴晶圆切割机是一款高精度、高效率的双轴晶圆切割机。最大加工尺寸可达12寸,在同类型机器中占地面积最小。

产品描述

       JQ261系列 双轴晶圆切割机,具有高质量的切割品质,透明式设计理念,采用低震动主轴,优化的结构布局将影响切割品质的因素降低到最小。自动化辅助软件,具备自动拉直功能,自动刀痕检查功能,根据状态自我调整功能,设备生产数据记录分析功能, 设备生产效率分析。加工的高适应性,将根据加工需求, 可适配更大功率的主轴。操作的便利性,采用17英寸触摸屏,在切割过程中同时监控机器运行状况。追随式键盘设计,更高效的数据编辑,多点触控设计,更高效的操作,一键式返回主界面设计。

设备参数

工件尺寸: φ 300mm或300 x 300 (mm)

X轴

切割范围:310mm

进刀速度输入范围:0.1 - 1,000 mm /s

Y1/Y2轴

切割范围: 310mm

单步步进量:0.0001mm

定位精度:Within 0.003/310mm

Z轴

最大行程:30mm

分辨率:0.0001mm

重复精度:0.001mm

θ 轴

最大旋转角度:380deg

主轴:

主轴类型:对向式双主轴

额定扭矩:0.33 N · m ( 1.8kW )

最高回转速度:60,000 rpm

动力规格:

电气:380 V AC ,50/60 Hz, 三相电

空气:≥360L/min

主轴冷却水流量:4 L/min (@0.3 Mpa)

切割水流量:≥12 L/min

刀片尺寸:2英寸&3英寸

标准功能:自动对齐、自动刀痕检测

用户界面:触摸屏:17 英寸; 图形用户界面(GUI) 支持多种语言; Win 10操作系统.

可选配件:残片形状识别功能; 指定检查位置一键直达; 大视野的低倍相机.

机器尺寸:1,280×1, 120×1830 (mm) , 约1,660 Kg(宽度×深度×高度重量)

环境条件:室温:20℃- 25℃(波动范围:±1℃) 湿度:相对湿度小于70% (不冷凝);  切割水或主轴冷却水温度波动范围: ±1℃地面无震动。